用ftir可以分析物质成分及含量吗
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FTIR 傅氏转换红外线光谱分析仪(Fourier Transform infrared spectroscopy) 用于半导*造业。FTIR乃利用红外线光谱经傅利叶转换进而分析杂质浓度的光谱分析仪器。 目的：·已发展成熟，可Routine应用者，计 有： A.BPSG/PSG之含磷
