真空泵抽气速率： S=2.303V/tLog(P1/P2) V=500L (0.5吨) t=30s
P1=750torr P2=262.5torr
S=（2.303×500/30）×Log(750/262.5)=17.5L/s=63m³/h
（hPa——百帕）
1Pa=1.02×10^(-5)Kgf/cm²=1×10^(-5)bar=0.01mbar=9.87×10^(-6)atm=7.5×10^(-3)torr=4.01×10^(-3)inH2O=7.5×10^(-3)mmHg=1.45×10^(-4)PSI
1.2BEA-101-0
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