专利名称:电子级二氧化碳的制备装置专利类型:实用新型专利发明人:雷海平,吕其明,张建长申请号:CN201821653754.7申请日:20181011公开号:CN209246514U公开日:20190813
摘要:本实用新型属于气体纯化技术领域,涉及电子级二氧化碳的制备装置。本实用新型的电子级二氧化碳的制备装置,包括原料储罐、换热单元、汽化单元、过滤单元、干燥单元、中间贮罐、预冷单元、再沸器、精馏塔和成品储罐;所述原料储罐的出口与换热单元的液体进口连接,所述换热单元的液体出口依次与汽化单元、过滤单元和干燥单元连接;所述干燥单元的出口与换热单元的气体进口连接,所述换热单元的液化出口依次与中间贮罐、预冷单元和再沸器连接,所述预冷单元和再沸器均与精馏塔连接,所述预冷单元还与成品储罐连接。装置设备结构合理,操控性能和安全性能可靠,降低了运行成本和投资费用,确保了得到的高纯度产品质量的稳定性。
申请人:欧中电子材料(重庆)有限公司
地址:401220 重庆市长寿区晏家街道齐心大道20号4-2室
国籍:CN
代理机构:北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人:肖丽
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